揚子晚報網(wǎng)3月23日訊(記者 姜婧儀 通許員 江融宣)在半導(dǎo)體晶圓廠的潔凈室里,一輛輛承載著價值千萬晶圓的磁驅(qū)“天車”在空中軌道上輕盈穿梭,成為芯片誕生過程中最獨特的風(fēng)景線。在即將召開的全球規(guī)模最大的半導(dǎo)體專業(yè)展覽會SEMICON China上,位于江寧開發(fā)區(qū)的專精特新“小巨人”企業(yè)——江蘇道達智能科技有限公司將放出“大招”:攜最新研發(fā)的第二代半導(dǎo)體磁驅(qū)天車“騰龍”亮相。公司董事長孫俊杰透露,首臺套磁驅(qū)天車“騰龍”預(yù)計于今年6月份交付使用。
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磁驅(qū)“天車” 在空中軌道上輕盈穿梭
自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)就成為半導(dǎo)體制造工廠中不可或缺的高科技物流系統(tǒng),它通過快速精準搬運物料載體,突破了傳統(tǒng)人力搬運在機臺間的效率瓶頸,而“天車”就是這套系統(tǒng)中的核心設(shè)備。
過去很長一段時間里,半導(dǎo)體的天車市場,大多采用國外的系統(tǒng)和技術(shù)?!爸挥邪押诵募夹g(shù)掌握在我們自己手上,才能真正為產(chǎn)業(yè)、為客戶更好地解決問題?!睂O俊杰對公司的長遠發(fā)展有著清晰的認識。
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磁驅(qū)“天車” 在空中軌道上輕盈穿梭
從2017年開始,道達就瞄準天車控制系統(tǒng),從軟件入手,再到具體軌道的車輪磨損、滑軌材料、供電方式,進行全部自研。幾年來,道達積累了大量的發(fā)明專利,成功開發(fā)出國產(chǎn)首套5.3米/秒高速天車系統(tǒng),打破了國外長達20多年的壟斷,成為目前國內(nèi)唯一通過自研實現(xiàn)量產(chǎn)的天車系統(tǒng)廠商。
如今,公司在第一代旋轉(zhuǎn)伺服天車“麒麟”的基礎(chǔ)上,持續(xù)攻克技術(shù)難題,成功研制出磁驅(qū)天車“騰龍”,該產(chǎn)品實現(xiàn)了關(guān)鍵零部件100%國產(chǎn)化。與第一代產(chǎn)品相比,“騰龍”采用了自主研發(fā)的磁懸浮無接觸驅(qū)動技術(shù),運輸過程中實現(xiàn)零磨損、零粉塵,從根本上解決潔凈度問題,同時實現(xiàn)微米級的精準定位。
不僅如此,第二代產(chǎn)品還裝上了“最強大腦”——配備了自主研發(fā)的三層智能調(diào)度系統(tǒng),通過AI算法進行預(yù)測行為和故障自愈,實現(xiàn)一個后臺管理千臺設(shè)備。
“經(jīng)過測試,‘騰龍’的直行速度已經(jīng)從一代產(chǎn)品的5.3米/秒提高到6米/秒,定位精度提升到±0.5毫米,振動降至0.25g,這意味著新一代天車更快、更穩(wěn)、更精準?!?孫俊杰表示。
校對 陶善工